溶劑回收機(真空蒸餾回收機):碳氫溶劑的清洗,必需搭配溶劑回收機,如上述,因其具有閃火點,故需在減壓的環境下作動方能保証其安全性,故又稱之為「真空蒸餾回收機」。在持續進行的洗淨過程中必需要有源源不斷的再生液注入系統內方能保証洗液的純淨度;再生液注入的量愈大部件的潔淨度就愈易控制。
脫氣機(真空脫氣機):碳氫溶劑因溶存有許多的空氣,致使超音波的強度無法正常發揮,因此需要使用真空脫氣機,將溶存於洗劑中的空氣抽離,藉以強化超音波的效果。如圖
超音波強度測試(洗劑:碳氫溶劑/炭化水素)
無真空脫氣(常壓)的超音波效果→ 錫箔紙表面毫髮無傷
真空脫氣後的超音波效果→ 錫箔紙被超音波擊破